Ю. Федоренко

Мы вышли из "шинели" "Пульсара"

Государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Пульсар" (ГУП "НПП Пульсар") создано в 1953 году.

Шли годы, менялись названия предприятия - НИИ-35, НИИ полупроводниковой электроники (НИИПЭ), Государственный НИИ "Пульсар", ГУП "НПП "Пульсар", но "Пульсар" всегда был и остаётся одним из ведущих предприятий отрасли.

За истекшие 50 лет разработаны и освоены на серийных заводах отрасли более 1200 типов германиевых, кремниевых, арсенид-галлиевых транзисторов - от первых в стране промышленных образцов точечных С1, С2, плоскостных П1:П3 до современных мощных кремниевых биполярных СВЧ-транзисторов, работающих в импульсном и непрерывном режимах различных диапазонов длин волн. Широкое развитие на предприятии также получили работы по созданию кремниевых полевых транзисторов ВЧ и СВЧ диапазона частот.

Среди специалистов "Пульсар" долгое время больше был известен как транзисторный институт. Транзисторная электроника явилась базой для развития в стране интегральной электроники - микроэлектроники. И она "зародилась" тоже на "Пульсаре". Здесь были созданы первые отечественные кремниевые интегральные схемы ИС-100, впервые в мире разработаны быстродействующие ТТЛ-микросхемы с парафазным выходом серий 199, К599, КМОП БИС для приборов точного времени - электронных часов - и ряд других микросхем. На "Пульсаре" в начале 70-х годов получило развитие новое в стране направление полупроводниковой электроники - БИС на основе приборов с зарядовой связью (ПЗС), для управления которыми были разработаны специализированные микросхемы.

За последние два десятилетия одним из основных направлений работы предприятия стало создание и промышленный выпуск комплексированных радиоэлектронных устройств двойного назначения, в частности, для систем управления воздушным движением. За большой вклад в развитии отечественной электронной техники предприятие награждено орденом Трудового Красного Знамени (1968 г.) и орденом Ленина (1984 г.). Более 20 сотрудников "Пульсара" удостоены звания лауреатов Ленинской и Государственных премий в области науки и техники за личный вклад в разработку и внедрение в производство новых приборов.

Неоценим вклад "Пульсара" в становление школы инженерно-технических работников и учёных, создавших в 50-60 годы отечественную полупроводниковую электронику. Об этом публикация лауреата Государственной премии СССР, помощника генерального директора - секретаря Совета директоров ОАО "НИИМЭ и Микрон" Ю. Федоренко.

Появление на рынке первых отечественных промышленных полупроводниковых приборов совпало с началом моей инженерной деятельности в ВНИИ экспериментальной физики Российского федерального ядерного центра (больше известного как “Арзамас-16”). Мне, как молодому специалисту, тогда посчастливилось стать одним из авторов и исполнителей программы перевода аппаратуры автоматики подрыва ядерных зарядов, которая в середине 50-х строилась на электромеханических преобразователях, электромоторных реле времени, электромеханических реле, подпружиненных селеновых выпрямителях и т.п. элементах, на полупроводниковую элементную базу. Так, с первых дней работы состоялась моя инженерная специализация, которая сохранилась на долгие годы, развиваясь в “обратном” направлении — от разработки аппаратуры на дискретных полупроводниковых приборах к производству интегральных микросхем. Начинать приходилось почти с нуля, так как в институте, при очень хороших курсах теоретических основ электротехники и основ построения систем электроавтоматики, нам дали только общие понятия о полупроводниковой электронике, при этом наши преподаватели весьма скептически относились к транзисторам и в убеждениях сохраняли веру в надёжность только “сухого контакта”. Полупроводниковые кафедры в отдельных ВУЗах только начинали появляться.

Основными источниками пополнения недостающих знаний на первых порах были переводные сборники по применению полупроводниковых приборов и, ставший настольным не только для меня, но и для многих других специалистов, учебник Я.А. Федотова, написанный им в стенах НИИ-35 (ныне НИИ “Пульсар”). Он стал, по существу, хрестоматией по полупроводниковой электронике. Активной составляющей пополнения знаний стали творческие командировки на предприятия электронной техники, во время которых зарождались личные контакты с разработчиками полупроводниковых приборов, создавались программы совместных работ по испытаниям новых приборов. Интерес и расположение сторон были взаимными — я получал квалифицированные консультации и первые образцы приборов ещё на стадии их разработки, а разработчиков привлекала возможности получить заключение о “поведении” своих прибоих экзотическим по тем временам испытаниям — на радиационное воздействие. В числе руководителей и специалистов, которые способствовали этому сотрудничеству и принимали в нём непосредственное участие в те далёкие годы, были: В.В. Иванов — начальник СКТБ ЛПО “Светлана” (позже — первый директор Фрязинского завода полупроводниковых приборов, главный инженер НИИ “Пульсар”, начальник 9-го ГУ МЭП СССР); А.Р. Назарьян — главный инженер СКТБ ЛПО “Светлана” (позже — главный инженер, директор НИИМЭ, начальник ГНТУ МЭП СССР); Г.Д. Глебов — главный инженер НИИ “Пульсар”; А.В. Красилов и С.Г. Мадоян — разработчики первых промышленных плоскостных транзисторов П3 и П4; А.А. Лысков — директор Новосибирского завода полупроводниковых приборов (позже — начальник 2-го ГУ МЭП СССР) и многие другие.

Сотрудничество с предприятиями электронной промышленности впоследствии сыграло решающую роль в моей жизни после ухода с прежнего места работы. В 1964 году Фрязинский завод полупроводниковых приборов, как производственная база быстро развивающихся НИИ "Пульсар" и НИИ "Сапфир", тогда только строился, штатного расписания ещё не было, но набор кадров уже вёлся. Вновь принятых оформляли на работу в НИИ "Пульсар" и в КБПМ для прохождения стажировки, в их числе был и я.

Фрязинский завод начинал свою деятельность с производства точечных диодов, потом освоил производство мощных транзисторов, потом первым в стране начал выпуск интегральных схем, разработанных в отделе Б.В. Малина в стенах того же НИИ "Пульсар".

Когда появилась возможность легальной закупки технологического оборудования за рубежом и решалась задача по оснащению Фрязинского завода оборудованием для производства полупроводниковых приборов по планарной технологии, техническое задание на контракт с английской фирмой Ваквелл разрабатывалось в НИИ "Пульсар" под руководством В.А. Стружинского, он же возглавил бригаду специалистов, состоявшую из представителей нескольких предприятий МЭП, для прохождения стажировки и приёмки оборудования на фирме. Уместно заметить, что столь крупное комплексное мероприятие в истории МЭП СССР проводилось впервые и, насколько я помню, было единственным, но В.А. Стружинскому оно стоило жизни (трагически погиб в Лондоне при исполнении служебных обязанностей во время командировки).

Деятельность Фрязинского завода и его ОКБ во все периоды существования неразрывно связана с "Пульсаром" — он действительно стал основной производственной базой по освоению и выпуску большинства приборных разработок, выполненных в НИИ “Пульсар”, а ряд ОКР проводились совместно. Наиболее характерным и эффективным примером тому было создание первого отечественного высокочастотного транзистора в пластмассовом корпусе для бытовой радиоэлектронной аппаратуры и автоматизированного оборудования для их массового производства. Серийное производство транзисторов было осуществлено на Фрязинском заводе. К выполнению этой комплексной работы был привлечён ряд предприятий отрасли, разработка собственно транзистора проводилась в НИИ "Пульсар" под руководством А.И. Гольдшера (ныне доктор технических наук). В 1973 году эта работа была удостоена Государственной премии СССР.

С переходом на работу в Зеленоград в НИИМЭ я не удивился, когда узнал, что многие ведущие специалисты НИИМЭ и завода "Микрон", включая директора К.А. Валиева (ныне действительного члена РАН), подобно Фрязинскому варианту прошли через стажировку на "Пульсаре". Приведу слова К.А. Валиева по этому поводу из сборника воспоминаний и очерков "НИИМЭ-«Микрон». 35 лет. События. Люди". Москва, Зеленоград, 1999 г.:

"Первоначальный коллектив НИИМЭ родился в Москве, в сегодняшнем НИИ "Пульсар". Это был крупный институт, имевший к тому времени опытный коллектив разработчиков германиевых и кремниевых транзисторов. Он создал новое подразделение (отдел Б.В. Малина), приступившее к разработке интегральных схем. Одновременно там начал работать первичный коллектив НИИМЭ.
... Первые шаги реальной деятельности института полностью определялись А.И. Шокиным. Прежде всего, он предложил перевести всех в Зеленоград. Задача определена А.И. Шокиным: надо создать цех по производству бескорпусного планарного транзистора "Плоскость" (разработка НИИ "Пульсар"). В этой разработке аккумулирован отечественный опыт планарной технологии на кремнии, основные процессы которого пригодны и для изготовления интегральных схем".

Работая в НИИМЭ, я не потерял связь с коллегами из "Пульсара" и, случалось, обращался к ним по каким-то вопросам. Одно из моих обращений было несколько необычным. Дело в том, что на заводе "Микрон", главным инженером которого я был в то время, в одном из цехов произошёл несчастный случай со смертельным исходом: работница, готовя смесь из плавиковой, азотной и щавелевой кислот, вместо щавелевой кислоты влила спирт, который был припрятан в бутылке из-под щавелевой кислоты с соответствующей этикеткой. Мы очень быстро установили причину взрыва и воспроизвели произошедшее, но у следователя прокуратуры была своя навязчивая версия — он искал криминал в самой смеси и ждал заключения экспертов, которое ему якобы обещали в одном из институтов Академии наук. Наши попытки получить официальное заключение независимых экспертов были безуспешными, так как в те годы желающих войти в противоречие с прокуратурой не находилось. Однако один мужественный человек всё же нашёлся. Это был доктор химических наук из "Пульсара" И.Г. Ерусалимчик. Его заключение, подписанное тремя докторами химических наук (двоих он сам разыскал), с сопроводительным письмом за подписью директора НИИ “Пульсар” Ю.П. Докучаева сыграло решающую роль в этом деле, и оно было закрыто.

Я не сомневаюсь, что, взяв в руку перо, любой из старожилов предприятий бывшей электронной промышленности СССР написал бы самые добрые слова о роли НИИ "Пульсар" в становлении и развитии полупроводниковой подотрасли электронной промышленности страны.

К сожалению, годы и события, происходящие в стране в последнее десятилетие, как-то развели нас, каждый борется за своё выживание самостоятельно. Может, пора объединить усилия? Примеры тому появляются — ряд предприятий бывшей электронной промышленности усилиями Концерна "Научный Центр", возглавляемого членом корреспондентом РАН Г.Я. Красниковым, уже объединились под его флагом.

ОАО "НИИМЭ и Микрон" проводит ежегодные научно-практические конференции по проектированию и технологии производства интегральных микросхем. В октябре этого года в Гурзуфе прошла очередная — пятая. Приходится сожалеть, что представители НИИ "Пульсар" не участвовали в её работе.

Во время товарищеского ужина по случаю завершения конференции было предложено поднять бокалы за славный юбилей НИИ "Пульсар", за "шинель", из которой мы когда-то вышли.